XXY顾名思义即是有两个X轴转向,搭配一个Y轴转向,另一轴则采取自由轴,XXY亦有UVW之称。它用来取代某些传统XYθ的应用,目前三轴对位是近年来发展高精密的重要趋势,经过不断的改良设计,精度可达到1μm
四大特色:
薄:颠覆传统XYθ结构,少了DD马达的厚度与成本,进而发展出小型XXY模组,不但整体高度有效降低,也减轻本身重量,更达到机电空间的利用率
准:搭配瑞士进口高刚性高精度的滑轨,平台组件机构环节,均经过精密加工及长时间测试,最后于结构上调校,搭配影像对位软体,以致整体最高精度达1μm
稳:平台之每个环节,包括机件、马达驱动器、线轨螺杆等,经过长时间经验累积反复修正,采用最佳加工方式及高稳定零组件,使机构达到高稳定度之完美状态
快:相对于过去XXY平台只针对特定轴进行θ方向的运动,我司已推出可任意设置旋转中心之机构
应用场合:
精密产业设备
面板贴合机
PCB贴合,曝光设备
半导体设备
WAFER对位设备
晶粒印刷版设备
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